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討論數(shù)字式真空計(jì)的應(yīng)用

更新時(shí)間:2015-09-02      瀏覽次數(shù):845
  討論數(shù)字式真空計(jì)的應(yīng)用
  在真空裝置自動(dòng)控制中,往往要進(jìn)行真空測(cè)量,由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同,因此,各個(gè)真空區(qū)域的真空測(cè)量均會(huì)遇到。通常使用的真空計(jì)有數(shù)字式真空計(jì)、電阻式真空計(jì)等等。為了拓展真空計(jì)的功能,真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測(cè)、模擬量輸出、RS-232C等通信接口、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配。因此,一個(gè)配置齊全的真空計(jì),不僅能進(jìn)行真空度測(cè)量、數(shù)字顯示、量程自動(dòng)切換、誤差自動(dòng)修正,而且能在壓力設(shè)定點(diǎn)發(fā)出控制信號(hào)去進(jìn)行壓力控制,按設(shè)定壓力值進(jìn)行壓力自動(dòng)調(diào)節(jié),還能將測(cè)量值打印記錄,并與上位機(jī)進(jìn)行通信,甚至還能進(jìn)行遠(yuǎn)距離真空測(cè)童與控制。
  在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中,往往希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的要求,維持在某一給定值上。這種要求通常可以通過手動(dòng)調(diào)節(jié)真空微調(diào)閥來完成,倘若希望自動(dòng)地完成壓力調(diào)節(jié),就要借助于數(shù)字式真空計(jì)來完成。它通常由真空測(cè)量單元(真空計(jì))、壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)電路和真空調(diào)節(jié)閥組成,它是集真空測(cè)量與壓力調(diào)節(jié)于一體的自動(dòng)控制儀器。
  數(shù)字式真空計(jì)的主要技術(shù)指標(biāo)是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反應(yīng)時(shí)間等。它取決于其配用的真空規(guī)管、控制電路及真空調(diào)節(jié)閥的性能。數(shù)字式真空計(jì)廣泛應(yīng)用于離子注人、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術(shù)及半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域,其使用的環(huán)境條件與同類型的真空計(jì)大致相同。

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